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ALD用高濃度臭氧發生器Atlas H30功能介紹
在半導體領域用臭氧發生器屈指可數,如果MKS SEMOZON? AX8415、SEMOZON? AX8407、SEMOZON? AX8410 ,住友臭氧發生器貨期太長,不能滿足現在要求,那同林推薦Atlas H30,雖然不能完全替代前面幾個型號,但可以作為替代產品來使用。下面是功能介紹視頻。
可用在半導體、ALD行業。
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