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        MKS AX8561臭氧發生器介紹

        來源:www.shcyys.com 作者:同林臭氧 時間:2023-04-18 15:24

        MKS AX8561臭氧發生器介紹

        MKS AX8561臭氧發生器已經被O3CS臭氧緊湊系統替換,O3CS緊湊型臭氧系統使用6級氧氣產生純臭氧,為半導體行業創造高質量薄膜。臭氧與各種前體氣體(如Al2O3, ZrO2, HfO2和La2O3金屬氧化物)反應,使薄膜沉積過程如原子層沉積(ALD)和蝕刻(ALE)。MKS的臭氧發生器電池技術,結合高純度濕潤材料和遠低于其他臭氧發生器所需的摻雜氣體水平,產生超清潔,高濃度臭氧,從而提高薄膜密度和產品收率。

        可采用獨立形式或與多達4個通道單元集成到系統機架中,每個單元向設備室輸送精確的臭氧濃度。O3CS臭氧氣體輸送系統采用了MKS現場驗證的模塊化臭氧產生技術、集成臭氧濃度監控器、O2和摻雜氣體種類的流量控制以及電子壓力控制器。

        MKS AX8561臭氧發生器介紹(圖1)

        產品特性

        ?緊湊的臭氧輸送子系統易于與腔室工具集成

        ?濃度可達20 wt% (300 g/m3)

        ?流量從0.5到20 slm

        ?具有冷卻功能的臭氧電池

        ?全電子控制,包括閉路臭氧濃度控制與集成過程監視器

        - O2和摻雜氣體的質量流量控制

        -電子壓力控制,在過程點穩定運行

        ?使用6級氣體制成的高質量薄膜

        ?可配置的臭氧輸出,以適應特定的工藝步驟,如沉積Al2O3

        ?清潔、安全,是傳統化學加工的替代方案


        參數

        型號:O3CS

        最大臭氧輸出量*:25 - 225克/小時(取決于配置)

        流量范圍:0.5至20 slm(取決于配置)

        工作范圍

        環境溫度:20 - 40°C(68 - 104°F)

        標稱電池壓力(輸送):0.7 - 3.1 bargauge (10 - 45 psig)

        控制接口:遠程操作,離散模擬I/O 25 pin D-sub, DeviceNet?,以太網Modbus TCP

        原料氣

        氧氣:6級或更好的氧氣

        氮或二氧化碳:20 - 100 ppm 5級或更好的N2

        1000 - 2000 ppm 5級或更好的二氧化碳

        冷卻水

        溫度:17 - 23°C(63 - 73°F)

        過濾:100微米

        質量:電阻率≥50 KΩ/cm

        最小流量@ 20°C

        L/min:0.95 - 7.60 L/min最小(取決于配置)

        Gpm:0.40 - 2.00 Gpm最小值(取決于配置)

        交流電源

        額定:208vac

        相:三相GND(無中性點)

        安培:額定電流2A - 10A最大(取決于配置)

        Hz:50/ 60hz

        重量(大約):40公斤(88磅)(取決于配置)

        尺寸:(寬×深×高)482 × 429 × 267毫米(19 × 16.89 × 10.5英寸)

        符合:SEMI S2-0302, SEMI F47, UL 61010-1, CAN/CSA-61010-1

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